[发明专利]脆性基板的分割方法

摘要

一种脆性基板的分割方法，在具有三个面所汇合的顶点的刀尖以其棱线为后侧滑动的情况下，易于准备刀尖，并且确保刀尖足够的寿命。准备刀尖，刀尖具有第一面(SD1)、第二面(SD2)和第三面(SD3)，第二面(SD2)与第一面(SD1)相邻，第三面(SD3)通过与第二面(SD2)相邻而形成棱线、并且通过与第一面(SD1)和第二面(SD2)的每一个相邻而形成顶点。棱线为未进行倒角加工的棱线。在脆性基板(4)的一个面(SF1)上使刀尖(51)向着从棱线(PS)朝向第一面(SD1)的方向滑动，从而在脆性基板(4)的一个面(SF1)上以无裂纹状态形成具有槽形状的沟槽线(TL)。沿沟槽线(TL)形成裂纹线(CL)。沿裂纹线(CL)分割脆性基板(4)。

主权项

一种脆性基板的分割方法，具备如下工序：工序a)，准备脆性基板，所述脆性基板具有一个面和与所述一个面垂直的方向上的厚度；工序b)，准备刀尖，所述刀尖具有第一面、第二面和第三面，所述第二面与所述第一面相邻，所述第三面通过与所述第二面相邻而形成棱线，并且所述第三面通过与所述第一面和所述第二面的每一个相邻而形成顶点，所述棱线为未进行倒角加工的棱线；工序c)，使所述刀尖在所述脆性基板的所述一个面上向着从所述棱线朝向所述第一面的方向滑动，从而通过所述脆性基板的塑性变形在所述脆性基板的所述一个面上形成具有槽形状的沟槽线，所述沟槽线以获得无裂纹状态的方式形成，所述无裂纹状态为在所述沟槽线的下方所述脆性基板在与所述沟槽线交叉的方向上连续性相连的状态；工序d)，在所述工序c)之后，通过使得所述脆性基板在所述厚度的方向上的第一裂纹沿所述沟槽线伸展，形成裂纹线，通过所述裂纹线断开在所述沟槽线的下方所述脆性基板在与所述沟槽线交叉的方向上的连续性的连接；以及工序e)，沿所述裂纹线分割所述脆性基板。