[发明专利]液晶光栅干涉测量空间光调制器相位调制特性的装置及方法

摘要

本发明公开了一种液晶光栅干涉测量空间光调制器相位调制特性的装置及方法，该方法操作简单，具有良好的鲁棒性。加载到空间光调制器的灰度图由三部分组成，一半屏幕是二元衍射光栅灰度图，另一半屏幕分为上下两部分，其中作为参考的区域加载零灰度级，而测量区域从零灰度级递增至255。随着灰度值增加，经过相位调制的反射光束与光栅产生的+1级衍射光干涉生成一整幅错位条纹图，通过测量同一幅干涉条纹的周期和错位条纹之间的相对移动量来计算SLM的相位调制量大小，消除了环境振动或空气湍流引起的条纹抖动对测量的影响，提高了测量精度。该方法不需要复杂的光学装置，且具有优良的机械稳定性，反应快速更易实施。

主权项

1.液晶光栅干涉测量空间光调制器相位调制特性的方法，以消除环境振动或空气湍流引起的条纹抖动对测量的影响，其特征在于：包括以下步骤：(1)设计空间光调制器的组合灰度图，其中，在空间光调制器上加载的灰度图分为三部分，其中一半屏幕加载二元垂直的衍射光栅，另一半屏幕分为上下两部分，均加载均匀的灰度级，上下两部分分别为测量区域和参考区域，其中，参考区域加载零灰度级，测量区域从零灰度级逐步增加至255；(2)采集光束：将从激光中发出的激光光束经扩束、滤波、准直为平行光束后，经偏振器得到振动方向平行于液晶分子长轴的线偏振光，偏振光入射到空间光调制器，由CCD相机采集：由液晶光栅衍射的+1级光，分别与经过相位调制的出射光束，以及没有经过相位调制的出射光束相互干涉产生的干涉条纹图像；(3)计算空间光调制器的相位调制量根据以下公式采用相对条纹移动法在错位条纹图上计算测量区域的相位调制量δ：δ＝2π(Δ/Λ)其中，Δ和Λ分别为条纹相对移动量和条纹周期宽度。