[发明专利]一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法有效
| 申请号： | 201710102163.4 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN106705886B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 卢增雄;齐月静;齐威;杨光华;苏佳妮;周翊;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 董李欣 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法，该方法所利用的测量系统包括：干涉仪、球面标准镜、标准球面波、待测球面镜和五维调整台，该方法根据待测球面镜的NA大小以及移相误差的控制要求将待测球面镜分成多个环形子孔径，不同环形子孔径采用不同的移相步长，再通过子孔径拼接的方式可实现整个球面镜面形误差的测量。本发明通过改变移相步长的新方法，低成本地实现了高数值孔径球面镜面形误差的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减小 球面镜 误差 测量 机械 方法 | ||
【主权项】：
1.一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法，该方法所利用的测量系统包括：干涉仪(10)、球面标准镜(20)、标准球面波(30)、待测球面镜(40)、五维调整台(50)，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：打开干涉仪(10)电源开关，进行预热；步骤二：预热完后，将球面标准镜(20)装到干涉仪(10)上，获得标准球面波(30)；步骤三：将待测球面镜(40)装到五维调整台(50)上，并进行光路的对准调整；步骤四：根据待测球面镜(40)的曲率半径和数值孔径大小分析机械相移误差大小；步骤五：根据待测球面镜(40)面形误差测量精度对机械相移误差的要求将待测球面镜(40)分为N个子孔径；步骤六：根据第n个子孔径的机械相移误差大小设置干涉仪(10)的机械相移步长Sn；步骤七：测量待测球面镜(40)的面形误差；步骤八：从待测球面镜(40)面形误差中取出第n个子孔径处的面形误差；步骤九：重复步骤六到步骤八，完成所有子孔径处的面形误差测量，得到N个子孔径处的面形误差；步骤十：采用子孔径拼接法，从N个子孔径处的面形误差求得整个待测球面镜(40)的面形误差。
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