[发明专利]一种砷化镓超薄衬底及应用在审
申请号: | 201710102563.5 | 申请日: | 2017-02-24 |
公开(公告)号: | CN106702492A | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 易德福;守建川 | 申请(专利权)人: | 江西德义半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/42 | 分类号: | C30B29/42;C30B11/00;C30B33/00 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司32293 | 代理人: | 韩凤 |
地址: | 344000 江西省抚*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种砷化镓超薄衬底及应用,所述砷化镓超薄衬底的形状为正六边形,所述砷化镓超薄衬底的内部包括至少两个边长依次减小的多孔正六边形,呈窝蜂状。其加工方法为材料提纯、多晶料制备、晶体生长、切片、磨边、研磨、腐蚀、粗抛和精抛、清洗、光刻腐蚀,该超薄砷化镓衬底应用于热核电池,可有效增强热核电池对放射源辐射能量的吸收效果,提高转换效率,电池输出的电压和电流可达到0‑4V、0.8‑2A。 | ||
搜索关键词: | 一种 砷化镓 超薄 衬底 应用 | ||
【主权项】:
一种砷化镓超薄衬底,其特征在于:所述砷化镓超薄衬底的形状为正六边形,所述砷化镓超薄衬底的内部包括至少两个边长依次减小的多孔正六边形,呈窝蜂状。
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