[发明专利]一种耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体及其制作方法在审
| 申请号： | 201710102658.7 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN106908193A | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 盛文军;胡国俊;刘莹 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)34124 | 代理人： | 王志兴 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体，包括金属基座、传感器芯片和耐腐蚀介质层；所述金属基座的上端设有构成压力膜片的封底，压力膜片上设有传感器芯片，金属基座的下端设有开口向下的凹槽，凹槽与金属基座之间构成导压腔体，导压腔体的内表面设有耐腐蚀介质层；所述耐腐蚀介质层为特氟龙介质层或耐腐蚀金属介质层。本发明还公开了一种耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体的方法。本发明的优点在于提供了一种工艺简单、成本低廉、既能继续保持玻璃微熔感压芯体的结构简洁性，又能大大增强玻璃微熔感压芯体的耐腐蚀耐高温特性，大大拓展其在不同工作环境中的适用性的耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体及其制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 玻璃 压力变送器 感压芯体 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种耐腐蚀玻璃微熔压力变送器感压芯体，其特征在于，包括金属基座、传感器芯片和耐腐蚀介质层；所述金属基座的上端设有构成压力膜片的封底，压力膜片上设有传感器芯片，金属基座的下端设有开口向下的凹槽，凹槽与金属基座之间构成导压腔体，导压腔体的内表面设有耐腐蚀介质层；所述耐腐蚀介质层为特氟龙介质层或耐腐蚀金属介质层。
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