[发明专利]组合式修整器及其制造方法

摘要

组合式修整器及其制造方法。组合式修整器包括基座以及至少一设置在基座上的研磨单元。研磨单元具有贯穿研磨单元的通孔，并包括底盘以及位于底盘上的研磨部。组合式修整器的制造方法是先将底盘组装于基座上，再研磨底盘直到底盘的表面平整度达到预定标准。随后，再将底盘从基座上拆卸下来进行加工，以形成研磨部于底盘上，其中研磨部具有一研磨表面。之后，再将具有研磨部的底盘重新组装固定至基座上。如此，可使组合式修整器的研磨表面上的多个切削尖端大致落在同一水平面上。

主权项

1.一种组合式修整器，其特征在于用以修整一抛光垫，所述组合式修整器包括：一基座，所述基座具有一承载面；以及至少一研磨单元，至少一所述研磨单元组装于所述承载面上，至少一所述研磨单元具有一位于所述研磨单元其中一侧的研磨部以及一贯穿所述研磨单元的通孔，所述研磨部具有一环绕所述通孔的研磨表面，且所述研磨表面具有多个切削尖端，其中所述通孔的开孔面积百分比是介于1%至60%之间；所述研磨部包括多个研磨颗粒或者至少一刀刃，且每一个所述研磨颗粒的一尖端或至少一所述刀刃的一尖端构成所述研磨表面的其中一所述切削尖端，多个所述切削尖端形成一切削图案。