[发明专利]一种获取器件功能模块单粒子本征错误截面的方法有效
| 申请号： | 201710104221.7 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN107085178B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 赵元富;于春青;蔡一茂;范隆;郑宏超;陈茂鑫;岳素格;王亮;李建成;王煌伟;杜守刚;李哲;毕潇;姜柯;赵旭;穆里隆;关龙舟;李继华;简贵胄;初飞;喻贤坤;庄伟;刘亚丽;祝长民;王思聪;李月 | 申请（专利权）人： | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
| 主分类号： | G01R31/311 | 分类号： | G01R31/311;G01J11/00 |
| 代理公司： | 11009 中国航天科技专利中心 | 代理人： | 臧春喜 |
| 地址： | 100076 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种获取器件功能模块单粒子本征错误截面的方法，首先对器件功能模块进行划分，然后直接利用脉冲激光试验获取结构规则功能模块的本征错误截面，编制测试程序，获取每种测试程序下器件的应用错误截面以及各个功能模块的占空因子，根据各种测试程序下器件的应用错误截面公式进行方程组联立求解，得到各个结构不规则功能模块的本征错误截面。本发明方法能够获取集成电路中所有功能模块的本征错误截面，以直观反应每个功能模块的单粒子敏感性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 获取 器件 功能模块 粒子 错误 截面 方法 | ||
【主权项】：
1.一种获取器件功能模块单粒子本征错误截面的方法，其特征在于包括如下步骤：/n(1)将器件功能模块分为结构规则功能模块和结构不规则功能模块两类；/n(2)直接利用脉冲激光试验获取结构规则功能模块的本征错误截面；/n(3)编制n种测试程序，通过重离子试验，获取器件执行上述各种测试程序时的应用错误截面，其中n＝结构不规则功能模块的个数；/n(4)分析每种测试程序下，器件各个功能模块的占空因子；/n(5)根据不同测试程序下器件的应用错误截面公式计算结构不规则功能模块的本征错误截面；/n计算方法为：/n(5.1)第j种测试程序下，器件的应用错误截面公式为σ
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