[发明专利]测定探头

摘要

提供一种能够保持高灵敏度并且以简易的结构降低灵敏度的测定方向依赖性的测定探头。在探头外壳(306)的轴向(O)上具备两个容许测针(336)的姿势变化的、呈旋转对称形状的支承构件(322、324)，在两个支承构件(322、324)中的具备四个能够变形的臂部(324B)的一个支承构件(324)，四个检测元件(325)配置在四重对称的位置，信号处理电路(320)具备第一处理部(364)，该第一处理部(364)对检测元件(325)的输出进行处理，输出表示接触部(362)在彼此正交的三个方向的各方向上的位移分量的三个位移信号(Vx、Vy、Vz)。

主权项

1.一种测定探头，具备：测针，其具有用于与被测定物接触的接触部；探头外壳，其能够将所述测针支承在轴心上；检测元件，其能够检测该接触部的移动；以及信号处理电路，其用于对该检测元件的输出进行处理，该测定探头的特征在于，/n在该探头外壳的轴向上具备容许所述测针的姿势变化的多个支承构件，各支承构件呈旋转对称形状，/n在该多个支承构件中的具备能够变形的臂部的至少一个支承构件，四个所述检测元件配置在四重对称的位置，/n所述信号处理电路具备：第一处理部，其对该检测元件的输出进行处理，输出表示所述接触部在彼此正交的三个方向的各方向上的位移分量的三个位移信号；第二处理部，其用于输出将所述三个位移信号合成所得到的合成信号；以及比较部，其用于将该合成信号的信号电平与规定的基准值进行比较，/n在该合成信号的信号电平为该规定的基准值以上时，所述信号处理电路输出触及信号，/n所述第一处理部具备：第一加法部，其用于将从四个所述检测元件输出的四个输出全部相加；以及减法部，其用于对绕所述轴心相位彼此相差90度的两个所述检测元件的输出分别减去与对应检测元件绕所述轴心相位相差180度的检测元件的输出，/n所述第二处理部具备：平方部，其用于对所述三个位移信号分别进行平方；以及第二加法部，其用于将从所述平方部输出的平方信号全部相加。/n