[发明专利]一种高功率半导体激光器的封装结构及其制备方法在审
申请号: | 201710105887.4 | 申请日: | 2017-02-27 |
公开(公告)号: | CN106711754A | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 刘兴胜;封飞飞;高立军;梁雪杰;舒东平 | 申请(专利权)人: | 西安炬光科技股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/02 | 分类号: | H01S5/02;H01S5/024 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710077 陕西省西安市高新区*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供一种高功率半导体激光器的封装结构,包括制冷器、以及半导体激光器单元;其中,所述半导体激光器单元由激光芯片、以及与所述激光芯片键合的起导电散热作用的衬底组成;所述衬底为具有多个热膨胀系数的一体式多层复合衬底,通过焊料键合到所述制冷器上,所述衬底各层的热膨胀系数自激光芯片端到制冷器端呈增大趋势。本发明还提供一种高功率半导体激光器的制备方法,基于本发明提供的高功率半导体激光器的封装结构及其制备方法,能够有效地平衡激光芯片P面受到的热应力,大大降低激光器的近场非线性效应。 | ||
搜索关键词: | 一种 功率 半导体激光器 封装 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种高功率半导体激光器的封装结构,其特征在于,包括:制冷器、以及半导体激光器单元;其中,所述半导体激光器单元由激光芯片、以及与所述激光芯片键合的起导电散热作用的衬底组成;所述衬底为具有多个热膨胀系数的一体式多层复合衬底,通过焊料键合到所述制冷器上,所述衬底各层的热膨胀系数自激光芯片端到制冷器端呈增大趋势。
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