[发明专利]基于原位探测的纳米尺度初始激光损伤检测方法及系统

摘要

本发明涉及一种基于原位探测技术的纳米尺度初始激光损伤检测方法及系统，所述方法包括以下步骤：在样品的待测区域设置多个标记点，并设置为定位点；在原子力显微镜下找到定位点，以定位点为基准，移动一定的相对坐标获得一测试区域，测试形貌；选定一损伤测试点，对样品进行激光损伤阈值测试；在损伤测试装置下用低于激光损伤阈值的激光光斑辐照测试区域；再次在原子力显微镜下找到测试区域，测试形貌；将两次获得的形貌进行对比，根据对比结果进行修正，判断是否发生纳米尺度的变化，若否，则在低于激光损伤阈值的情况下增加激光光斑的激光能量，直到发生纳米尺度的变化。与现有技术相比，本发明具有精确度高、可重复性好、结构简单等优点。

主权项

1.一种基于原位探测技术的纳米尺度初始激光损伤检测方法，其特征在于，包括以下步骤：/n1)在样品的待测区域设置多个标记点，并将其中一个设置为定位点；/n2)在原子力显微镜下找到所述定位点，调整样品使得定位点的十字方向与原子力显微镜定位十字叉方向一致，以所述定位点为基准，移动一定的相对坐标获得一测试区域，获得所述测试区域处形貌；/n3)在远离待测区域处选定一损伤测试点，在该损伤测试点对所述样品进行激光损伤阈值的测试；/n4)在损伤测试装置下找到所述定位点，并移动至测试区域，用激光能量低于所述激光损伤阈值的激光光斑辐照所述测试区域，所述激光光斑直径最小为20μm；/n5)重复步骤2)，再次在原子力显微镜下找到所述测试区域，获得所述测试区域处形貌；/n6)将步骤2)和步骤5)所获得的形貌进行对比，根据对比结果对测试区域的位置进行修正；/n7)将步骤2)和步骤5)所获得的形貌进行对比，判断是否发生纳米尺度的变化，若是，则检测结束，若否，则在低于所述激光损伤阈值的情况下增加激光光斑的激光能量，重复步骤4)-7)；/n所述调整样品使得定位点的十字方向与原子力显微镜定位十字叉方向一致具体为：/n调节原子力显微镜样品盘的角度，使定位点的十字方向与原子力显微镜的定位十字叉方向一致，并使二者的十字中心重合；/n所述根据对比结果对测试区域的位置进行修正具体为：/n通过形貌细节信息，当出现某一特征点位置偏离超过3μm时，对测试区域的位置进行修正，通过原子力显微镜扫描头的变化改变测试区域的测试中心。/n