[发明专利]快门单元、光刻装置及物品的制造方法有效
| 申请号： | 201710107214.2 | 申请日： | 2017-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN107153327B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 幡本淳 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种快门单元、光刻装置及物品的制造方法。提供一种用于光刻装置的打开和关闭光的光路的快门单元。快门单元包括可旋转地驱动沿着电机的旋转轴线延伸的轴的电机，以及附装到所述轴的多个快门构件，各个快门构件包括遮光部和透光部。快门单元还包括隔板，其被布置在快门构件之间的位置处，以避开光束通过的部分，并且，被构造为遮挡从前段的快门构件泄漏的光。 | ||
| 搜索关键词： | 快门 单元 光刻 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于光刻装置的快门单元，所述快门单元在对来自光源的光的透射与光的遮挡之间进行切换，所述快门单元包括：电机，其被构造为可旋转地驱动轴；附装到所述轴的多个快门构件，所述多个快门构件包括遮光部并且被构造为通过使得遮光部被布置在光的光路上的方式而旋转所述轴来遮挡光；以及隔板，其以避开光通过的部分的方式被布置在所述多个快门构件之间的位置处，并且，所述隔板被构造为遮挡从所述多个快门构件当中的、布置在当从光源侧观看时的隔板的前方的快门构件泄漏的光。
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