[发明专利]一种热分解制备二氧化硅钝化层的方法

摘要

本发明属于新能源领域，具体涉及一种热分解制备二氧化硅钝化层的方法。将偏硅酸、虫胶、稀释剂混合而成的粘稠状胶液均匀涂刷在扩散后的硅片表面并烘干，再将该硅片于高温的惰性气体环境中放置一段时间后，即完成硅片表面的钝化。虫胶在自身受热分解的过程中促进了偏硅酸分解所得的二氧化硅与硅片基底的相容程度，防止所生成的二氧化硅脱落，提高了钝化层的结合力和稳定性。

主权项

1.一种热分解制备二氧化硅钝化层的方法，其特征在于：所述的制备方法为，(1)将偏硅酸、虫胶、稀释剂混合后充分搅拌，得到粘稠状胶液；(2)将步骤(1)得到的粘稠状胶液均匀涂刷在扩散后的硅片表面并烘干，再将该硅片于高温的惰性气体环境中放置一段时间后，自然冷却，所述的高温的惰性气体环境中，温度为300～400℃，硅片于高温的惰性气体环境中的放置时间为15～25分钟。