[发明专利]一种监测蒸发源内部温度的方法

摘要

本发明提供一种监测蒸发源内部温度的方法。所述方法包括：根据当前蒸镀状态下蒸发源的喷嘴口处的内、外壁温度，计算当前蒸镀状态下所述蒸发源进行热传导的热传导系数；根据在当前蒸镀状态下所述蒸发源的外壁上第一位置的温度和所述热传导系数，计算当前蒸镀状态下所述蒸发源内部一第二位置的温度；其中所述第二位置为所述第一位置在所述蒸发源的内壁上的投影位置。所述方法通过监测蒸发源的喷嘴口处的内、外壁温度，能够获得蒸发源在当前状态的热传导系数，在此基础上根据蒸发源外壁上一位置点处的检测温度，能够获得对应位置的内部温度，从而解决现有技术无法获得蒸发源的内部温度的问题。

主权项

1.一种监测蒸发源内部温度的方法，其特征在于，所述方法包括：根据当前蒸镀状态下蒸发源的喷嘴口处的内、外壁温度，计算当前蒸镀状态下所述蒸发源进行热传导的热传导系数；根据在当前蒸镀状态下所述蒸发源的外壁上第一位置的温度和所述热传导系数，计算当前蒸镀状态下所述蒸发源内部一第二位置的温度；其中所述第二位置为所述第一位置在所述蒸发源的内壁上的投影位置；其中，所述根据当前蒸镀状态下所述蒸发源的喷嘴口处的内、外壁温度，计算当前蒸镀状态下所述蒸发源进行热传导的热传导系数的步骤包括：测量在当前蒸镀状态下所述喷嘴口处内壁上第三位置的温度和所述喷嘴口处外壁上第四位置的温度；其中，所述第四位置为所述第三位置在所述喷嘴口处外壁上的投影位置；根据以下公式计算当前蒸镀状态下所述蒸发源进行热传导的热传导系数：其中，C0为所述热传导系数，TA为所述第三位置的温度，TA’为所述第四位置的温度；其中，所述根据在当前蒸镀状态下所述蒸发源的外壁上第一位置的温度和所述热传导系数，计算当前蒸镀状态下所述蒸发源内部一第二位置的温度的步骤包括：当所述喷嘴口处的每一传导参数和所述第一位置处的对应传导参数分别对应相同时，将所述第一位置的温度与所述热传导系数进行相乘计算，获得所述第二位置的温度；当所述喷嘴口处至少一传导参数与所述第一位置处的对应传导参数不相同时，根据不相同的传导参数，对所述热传导系数进行修正，获得修正后热传导系数，将所述第一位置的温度与所述修正后热传导系数进行相乘计算，获得所述第二位置的温度；其中所述传导参数包括壁厚和制成材料。