[发明专利]压力传感器状态检测方法及系统在审
| 申请号： | 201710110239.8 | 申请日： | 2017-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN107131996A | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 石原卓也;添田将;关根正志;枥木伟伸 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L27/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的压力传感器状态检测方法及系统能够提前检测出以对压力传感器的堆积为主的异常状态。特性测量部(125)在通过温度控制部的动作使传感器芯片(101)的温度变化的状态下得到压力传感器(压力值输出部121)的输出变化，由此得到表示输出变化的传感器特性。状态判断部(126)根据特性测量部(125)得到的传感器特性与存储于基准值存储部(124)的设为基准的基准特性的比较，来判断隔膜(112)的异常状态。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 状态 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种压力传感器状态检测方法，其对压力传感器的受压部的状态进行检测，所述受压部被设为能够变位、并接受来自测定对象的压力，所述压力传感器由具备所述受压部的传感器芯片构成，并将所述受压部的变位作为静电容量的变化来检测，所述压力传感器状态检测方法的特征在于，包括：第1步骤，其在使所述传感器芯片的温度变化的状态下得到所述压力传感器的输出变化；以及第2步骤，其根据表示通过所述第1步骤得到的输出变化的传感器特性与设为基准的基准特性的比较来判断所述受压部的异常状态。
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