[发明专利]一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置及检测方法有效
| 申请号： | 201710110580.3 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN106938785B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 钟伟;顾小玉 | 申请（专利权）人： | 江苏科技大学 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G51/03;G01L11/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李晓静 |
| 地址： | 212003*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置，包括运输平台、固定平台和基座，固定平台通过支撑柱与基座连接，运输平台的两侧设有驱动玻璃基板运动的驱动装置，运输平台上设有若干个均匀排列的输送气孔，在输送气孔的顶端嵌入有烧结金属多孔材料，在输送气孔的底部连接有输气管，输气管通过流量计与减压阀连接，减压阀通过软管与气源连接；所述运输平台每个输送气孔的周围设有至少两个小孔，小孔的底部通过气管与压力传感器连接，压力传感器和流量计的信号输出端与输入转换模块连接。本发明的一种具有形变检测功能的玻璃基板气浮装置，具有清洁无污染、不发热、不生磁等优点，且气动系统较易维持，构建简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 形变 检测 功能 玻璃 基板气浮 装置 方法 | ||
【主权项】：
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