[发明专利]配套检测样品在电子注激励下产生光谱特性的实验系统

摘要

本发明公开了一种配套检测样品在电子注激励下产生光谱特性的实验系统，属于太赫兹辐射光谱特性检测领域。该系统包括：真空腔室、抽真空系统、旋转控制杆以及电子枪；抽真空系统为自由电子注激励样品提供高真空的实验环境；旋转控制杆不仅可以固定电子枪还可以控制电子注激励样品的角度和位置；真空腔室上、下安装的一对观察窗可以方便实现太赫兹时域光谱分析仪对样品在电子注激励下产生的辐射场进行实时探测和分析，前、后安装的一对观察窗可以方便实验操作人员实时观察真空腔室内部的情况。本发明整套系统设计合理，配合太赫兹时域光谱分析仪使用，可以方便实现对样品在自由电子注激励下产生太赫兹辐射光谱特性的检测。

主权项

1.一种配套检测样品在电子注激励下产生光谱特性的实验系统，包括：真空腔室、抽真空系统、旋转控制杆以及电子枪；所述抽真空系统用于提供真空腔室高真空环境；所述真空腔室设有观察窗以及腔室门，其内部还设置有样品台；所述腔室门上设置有给电子枪供电的双芯电极；所述旋转控制杆穿过腔室门分为内外两部分，电子枪通过旋转控制杆内半部分固定于样品台上方，旋转腔室外侧的旋转控制杆外半部分即可改变电子枪发射电子注的角度；所述抽真空系统包括一个抽系统低真空的机械泵，一个抽系统高真空的分子泵，以及用于控制机械泵和分子泵正常工作的控制平台；所述观察窗为分别设置于真空腔室上、下、前、后的四个观察窗，上、下观察窗外部抵近有太赫兹时域光谱分析仪探头，用于探测并分析信号；所述腔室门上还设置有一个六芯电极，用于外加电源对样品施加调制电压，并结合法拉第杯测量电子注束流大小。