[发明专利]可调整长度臂与MEMS位感器设备旋转测试仪器有效
申请号: | 201710110854.9 | 申请日: | 2017-02-28 |
公开(公告)号: | CN108508344B | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 王安松;翁庆昌;李扬汉 | 申请(专利权)人: | 力浦电子实业股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01C25/00 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 | 代理人: | 吴怀权 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种可调整长度臂与MEMS位感器设备旋转测试仪器,其通过一旋转装置一端所设有的伸缩部及第一旋体及第二旋体以有效变换该第一送料组件的送料位置,进而使得该送料组件可进行矩阵送料、环形送料或是其它路径的送料方式,并且,工作台上设有至少一旋转部,该旋转部的一面上设有多个作业站,如此,可通过该旋转部环形转换各作业站的位置,以更有效达到快速刻录或测试的功效,另外,各作业站的周边设有一翻转部,通过该翻转部可有效翻转各作业站,以有效测试各种不同的微电机系统(MEMS)的惯性组件。 | ||
搜索关键词: | 可调整 长度 mems 位感器 设备 旋转 测试 仪器 | ||
【主权项】:
1.一种可调整长度臂与MEMS位感器设备旋转测试仪器,其特征在于,包括:一进料部,该进料部设有一进料组件以将未刻录的IC送至一置料区内;一旋转装置,该旋转装置一端连接一第一送料组件,该第一送料组件能够进行上下左右及旋转移动的动作,当该第一送料组件移动至该置料区上方后,该第一送料组件会进行向下移动的动作以吸取该置料区内未刻录的IC,而后再进行向上移动的动作以移动其未刻录的IC;以及多个作业站,该作业站设于该旋转装置的周边相邻处,该作业站的一面上设有一作业部,当该第一送料组件吸取该置料区内的未刻录IC后,该旋转装置则会将该第一送料组件移动至该作业站的相邻处,而后再通过该第一旋体及该第二旋体调整该第一送料组件的位置以将其未刻录的IC放置于该作业部内进行刻录,当IC刻录完成后再通过该第一送料组件将已完成刻录的IC从该作业部内移动至一出料部,以此动作重复地进行进料、刻录或出料的工作。
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