[发明专利]一种卧式石英舟清洗机及清洗方法

摘要

本发明公开了一种卧式石英舟清洗机及清洗方法，通过利用花篮承载石英舟，并在机械手带动下进行反复升降或/和水平运动，以搅动超纯水工艺槽、化学工艺槽内的清洗液体，使石英舟可得到有效的振动清洗，并可伴随溢流及鼓气清洗工艺，从而实现了对石英舟的自动、全面、稳定的清洗；同时，通过在超纯水工艺槽外围设置超纯水工艺外槽及在化学工艺槽外围设置化学工艺外槽，可利用管路系统对超纯水工艺槽、超纯水工艺外槽及化学工艺槽、化学工艺外槽内的废液进行分类排放及回收，从而减少了废液处理过程中的大量浪费，节省了回收成本。

主权项

一种卧式石英舟清洗机，其特征在于，包括：超纯水工艺槽，用于提供一洁净的超纯水以清洗石英舟；超纯水工艺外槽，位于超纯水工艺槽外，且包含超纯水工艺槽，用于接收超纯水工艺槽溢流的液体或由于超纯水工艺槽结构性损坏而导致外流的液体；化学工艺槽，用于提供一化学清洗液以清洗石英舟；化学工艺外槽，位于化学工艺槽外，且包含化学工艺槽，用于接收化学工艺槽溢流的液体或由于化学工艺槽结构性损坏而导致外流的液体；所述超纯水工艺外槽与化学工艺外槽并排排列；管路系统，位于超纯水工艺外槽和化学工艺外槽底部，并分别连接超纯水工艺槽、超纯水工艺外槽、化学工艺槽、化学工艺外槽，用于处理清洗工艺中产生的废液；机械手，位于超纯水工艺外槽和化学工艺外槽上方，用于带动花篮进行水平和升降运动；花篮，挂在机械手上，用于承载石英舟，并受机械手带动进行反复升降或/和水平运动，以分别在超纯水工艺槽、化学工艺槽内对石英舟进行振动清洗。