[发明专利]半主动式反射镜面支承和定位系统

摘要

本发明公开了一种半主动式反射镜面支承和定位系统，用于支承和定位反射镜面，包括镜面支承系统以及镜面位姿调整系统；镜面支承系统包括轴向支承系统和侧向支承系统，而镜面位姿调整系统则包括轴向镜面位姿调整系统和侧向镜面位姿调整系统；轴向镜面位姿调整系统，用于调整反射镜面的沿Z轴的平动、绕X轴、Y轴的转动三个自由度，包括轴向位姿调整用位移促动器、轴向位移传感器；轴向支承系统，用于承担反射镜面的重力在轴向上的分量W*sinθ，包括轴向流体力促动器。因此，本发明反射镜面的轴向支撑和定位是基于流体压力控制和驱动的，能够实现镜面的轴向精密定位功能。

主权项

1.一种半主动式反射镜面支承和定位系统，用于支承和定位反射镜面，包括镜面支承系统以及镜面位姿调整系统，反射镜面，具有六个自由度，包括三个分别沿坐标轴X、Y、Z的轴向平动以及三个分别绕坐标轴X、Y、Z的转动；所述镜面支承系统包括轴向支承系统和侧向支承系统，而镜面位姿调整系统则包括轴向镜面位姿调整系统和侧向镜面位姿调整系统，其特征在于，所述的轴向镜面位姿调整系统，包括轴向位姿调整用位移促动器、轴向位移传感器；所述轴向位姿调整用位移促动器，至少有三个，均匀布置在反射镜面底部或边缘处，作动方向均沿着反射镜面的坐标轴Z向设置，用于驱动反射镜面沿坐标轴Z向运动；各轴向位姿调整用位移促动器均集成有轴向力传感器，该轴向力传感器用于检测所处位置处的反射镜面的重力在轴向上的分量；所述轴向位移传感器，至少有三个，均用于检测反射镜面在轴向位姿调整用位移促动器的驱动下，其所处位置处的Z向平动位移量，并根据各轴向位移传感器反馈的Z向平动位移量，解算反射镜面分别绕坐标轴X、Y的旋转角位移量Rx、Ry；各轴向位姿调整用位移促动器的作动直至轴向位移传感器所反馈的数值满足要求；所述的轴向支承系统，用于承担反射镜面的重力在轴向上的分量W*sinθ，包括轴向流体力促动器；其中：W表示反射镜面的重力，θ表示反射镜面的轴线仰角；所述轴向流体力促动器，根据轴向力传感器所反馈的数值来作动，直至轴向力传感器所检测到的数值为零或小于允许的误差。