[发明专利]光刻机和光刻机中吊框面型补偿方法有效
| 申请号： | 201710114397.0 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN108508704B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 魏银雷;廖飞红;杨辅强 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻机以及光刻机中吊框面型补偿方法，在吊框底部设置吊框面型补偿单元，能够对吊框面型的形变进行补偿，在吊框面型补偿方法中由吊框面型形变检测模块检测吊框面型的形变，将其与吊框面型补偿单元的补偿力作最小二乘法拟合后得到拟合数据作为控制力的前馈表格，闭环自动控制器根据该表格控制吊框面型补偿单元的补偿力，因此对于吊框面型的补偿更为精确。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 机中吊框面型 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机，具有用于承载工件台的吊框，其特征在于，在所述吊框上设置吊框面型补偿单元，用于吊框面型补偿；所述吊框上还设置有吊框面型形变检测模块；所述光刻机还设置有一闭环自动控制器，与所述吊框面型补偿单元连接，用于控制所述吊框面型补偿单元给予所述吊框补偿力的大小。
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