[发明专利]一种平板颗粒度检测装置有效
| 申请号： | 201710114472.3 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN108507909B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 申永强;杨晓青;韩雪山 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平板颗粒度检测装置，包括：照明单元，用于产生照明视场；探测单元，照明单元产生的入射光经被检测平板表面的异物散射，产生的散射光被探测单元接收，所述探测单元的光轴方向与所述照明单元产生的入射光入射至所述被检测平板表面的法线方向平行；还包括测量光束调整单元，所述入射光经所述被检测平板的上表面反射后产生反射光，所述测量光束调整单元将所述反射光与所述散射光分离。本发明在传统照明单元与探测单元之间增加测量光束调整单元，将散射光与反射光分离，确保反射光不会进入探测单元内；另外，探测单元的光轴方向与所述照明单元产生的入射光入射至所述被检测平板表面的法线方向平行，提高了不同系统配置下的设计兼容性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 颗粒 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种平板颗粒度检测装置，其特征在于，包括：照明单元，用于产生照明视场；探测单元，所述照明单元产生的入射光经被检测平板表面的异物散射，产生的散射光被所述探测单元接收，所述探测单元的光轴方向与所述照明单元产生的入射光入射至所述被检测平板表面的法线方向平行；还包括测量光束调整单元，所述入射光经所述被检测平板的上表面反射后产生反射光，所述测量光束调整单元将所述反射光与所述散射光分离。
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