[发明专利]一种存储器有效
申请号: | 201710117402.3 | 申请日: | 2017-03-01 |
公开(公告)号: | CN108538807B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 黄鹏;张学海;周川淼 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;G11C5/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张振军;吴敏 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种存储器,包括:半导体衬底;位线层,位于所述半导体衬底上,所述位线层内排布有位线;屏蔽层,位于所述位线层上,所述屏蔽层内设置有导电的屏蔽结构,所述屏蔽结构接地;字线层,位于所述屏蔽层上,所述字线层内排布有字线。本发明中存储器的写干扰较小。 | ||
搜索关键词: | 一种 存储器 | ||
【主权项】:
1.一种存储器,其特征在于,包括:半导体衬底;位线层,位于所述半导体衬底上,所述位线层内排布有位线;屏蔽层,位于所述位线层上,所述屏蔽层内设置有导电的屏蔽结构,所述屏蔽结构接地;字线层,位于所述屏蔽层上,所述字线层内排布有字线。
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