[发明专利]一种全自动化的扫描电子显微镜及其探测方法

摘要

本文提供了一种全自动化的扫描电子显微镜及其探测方法，所述扫描电子显微镜包括：由第一光学显微镜和平移台构成的光学导航系统，以及由电子源和电子光学镜筒构成的扫描电子显微镜装置，该光学导航系统还包括：位于所述第一光学显微镜下方且与所述平移台相连的、容纳待测样品进行光学探测的第一腔室；该扫描电子显微镜装置还包括：位于所述电子光学镜筒下方的、容纳待测样品进行扫描电子显微镜探测的第二腔室；所述第一腔室与第二腔室之间通过真空阀门水平连通或隔绝；所述第一腔室内设置有能将待测样品从第一腔室通过所述真空阀门移动到第二腔室的自动传送装置。本申请操作简单，可达到缩短样品探测时间，提高探测效率和精确度的目的。

主权项

1.一种全自动化的扫描电子显微镜，包括由第一光学显微镜和三维移动的平移台构成的光学导航系统，以及由电子源和电子光学镜筒构成的扫描电子显微镜装置，其特征在于，所述光学导航系统还包括：位于所述第一光学显微镜下方且与所述平移台相连的、容纳待测样品进行光学探测的第一腔室；所述扫描电子显微镜装置还包括：位于所述电子光学镜筒下方的、容纳待测样品进行扫描电子显微镜探测的第二腔室；所述第一腔室与第二腔室之间通过真空阀门水平连通或隔绝；所述第一腔室内设置有能将待测样品从第一腔室通过所述真空阀门移动到所述第二腔室的自动传送装置；其中，所述自动传送装置通过一竖直方向的转轴设置于所述第一腔室内，所述自动传送装置包括：一端固定于所述转轴且围绕转轴在水平方向旋转的可伸缩传送臂，以及连接在所述可伸缩传送臂另一端的承载待测样品的样品托；或者，所述自动传送装置设置于所述第一腔室的换样门上。