[发明专利]一种用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置在审
| 申请号： | 201710118811.5 | 申请日： | 2017-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN106903449A | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 关江敏;孙洁 | 申请（专利权）人： | 北京创世威纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K31/00 | 分类号： | B23K31/00;B23K10/00 |
| 代理公司： | 北京尚德技研知识产权代理事务所(普通合伙)11378 | 代理人： | 陈晓平 |
| 地址： | 100085 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置，其包括一个水平的工件台，所述工件台固定连接有至少一个水平的第一锥齿轮，所述第一锥齿轮设置有同轴可旋转的倾斜台，所述倾斜台包括一个与所述水平面的夹角为10‑45°的支撑部，所述支撑部设置有一个可旋转的支撑杆，所述支撑杆设置有一个与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮。本发明所提供的用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置，可保障锥形或球冠形工件在不断的偏心自转中，不同刻蚀部位在被刻蚀瞬间与离子源形成相同的刻蚀距离与一致的刻蚀角度，这样就可保障锥形或球冠形工件不同位置刻蚀的一致性，即良好的刻蚀均匀性，从而可保障刻蚀生产的产品性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 锥形 球冠形 工件 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种用于锥形或球冠形工件刻蚀的装置，其特征在于，其用于在真空腔室中对锥形或球冠形工件进行离子束刻蚀，其包括一个水平的工件台，所述工件台固定连接有至少一个水平的第一锥齿轮，所述第一锥齿轮设置有同轴可旋转的倾斜台，所述倾斜台包括一个与所述水平面的夹角为10‑45°的支撑部，所述支撑部设置有一个可旋转的支撑杆，所述支撑杆设置有一个与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮。
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