[发明专利]一种基于孕镶金刚石原位沉积生长金刚石涂层的工艺方法

摘要

本发明涉及一种基于孕镶金刚石原位沉积生长金刚石涂层的工艺方法，包括以下步骤(1)酸洗取孕镶金刚石基体置于酸溶液中，酸洗，腐蚀除去表面的Co；(2)超声清洗取酸洗后的孕镶金刚石基体，置于金刚石微粉的悬浮液中，超声处理；(3)氢等离子体刻蚀再将酸洗和超声清洗后孕镶金刚石基体放入化学气相沉积设备中，通入氢气，进行等离子体刻蚀；(4)原位沉积生长金刚石涂层刻蚀完成后，通入CH4气体，原位沉积，冷却，即完成。与现有技术相比，本发明利用化学气相法在孕镶金刚石表面沉积金刚石涂层，同时，通过特殊预处理工艺得到的自然过渡层提高了金刚石涂层与孕镶金刚石基体之间的结合力，提高了孕镶金刚石的耐磨性和使用寿命。

主权项

一种基于孕镶金刚石原位沉积生长金刚石涂层的工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)酸洗取孕镶金刚石基体置于酸溶液中，酸洗，腐蚀除去表面的Co；(2)超声清洗取酸洗后的孕镶金刚石基体，置于金刚石微粉的悬浮液中，超声处理；(3)氢等离子体刻蚀再将酸洗和超声清洗后孕镶金刚石基体放入化学气相沉积设备中，通入氢气，进行等离子体刻蚀；(4)原位沉积生长金刚石涂层刻蚀完成后，继续通入氢气，并同时通入CH4气体，原位沉积，冷却，即得到表面生长有金刚石涂层的孕镶金刚石。