[发明专利]一种气体动态稀释配气系统及其方法在审

专利信息
申请号: 201710120998.2 申请日: 2017-03-02
公开(公告)号: CN108534868A 公开(公告)日: 2018-09-14
发明(设计)人: 刘沂玲;王德发;李士良 申请(专利权)人: 中国计量科学研究院
主分类号: G01F25/00 分类号: G01F25/00;B01F3/02;B01F15/00
代理公司: 北京知舟专利事务所(普通合伙) 11550 代理人: 潘聪聪
地址: 100013 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种气体动态稀释配气系统及其方法,该方法包括:根据第一预设流量值控制用于连通载气钢瓶与混合容器的第一通道的气体流量;测量第一管道的流量测量值;根据第一预设流量值与第一管道的流量测量值计算第一校准值;根据第一校准值修正第一预设流量值使第一管道的实际流量值达到第一预设流量值;根据第二预设流量值控制用于连通组气钢瓶与混合容器的第二通道的气体流量;测量第二管道的流量测量值;根据第二预设流量值与第二管道的流量测量值计算第二校准值;根据第二校准值修正第二预设流量值使第二管道的实际流量值达到第二预设流量值。本发明解决了因气体种类、浓度不同造成的准确度偏差,大大提高了配气准确度。
搜索关键词: 预设 流量测量 校准 第二管道 第一管道 准确度 混合容器 配气系统 气体动态 气体流量 实际流量 稀释 连通 测量 修正 载气钢瓶 气钢瓶
【主权项】:
1.一种气体动态稀释配气方法,其特征在于,包括步骤:根据第一预设流量值控制用于连通载气钢瓶与混合容器的第一通道的气体流量;测量所述第一管道的流量测量值,并根据所述第一预设流量值与所述第一管道的流量测量值计算第一校准值;根据所述第一校准值修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值;根据第二预设流量值控制用于连通组气钢瓶与混合容器的第二通道的气体流量;测量所述第二管道的流量测量值,并根据所述第二预设流量值与所述第二管道的流量测量值计算第二校准值;根据所述第二校准值修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值。
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