[发明专利]一种半导体工艺配方的管理系统和方法

摘要

本发明公开了一种半导体工艺配方的管理系统和方法，其包括配方编辑管理模块、配方数据管理模块、配方传输管理模块和配方控制管理模块，其中，配方编辑管理模块采用对配方参数图形对象化的编辑方式生成工艺配方，实现了配方参数的编辑可视化、直接明了，便于编辑；配方控制管理模块生成工艺队列，并对工艺队列进行管理，实现了以PLC执行配方文件的控制方式，实现了实时动态修改工艺队列的参数，解决了上位机实时跟踪扫描PLC数据信息的笨重方式，大大提升数据传输效率和实时性，减少依赖PLC驱动读写的方式获取工艺数据。

主权项

1.一种半导体工艺配方的管理系统，其特征在于，包括上位机和PLC机组，上位机与PLC机组相连，其中，上位机用于根据工艺需要编辑和管理工艺配方，并接收来自PLC机组的过程数据文件，PLC机组与被控设备的各工艺单元相连，用于接收来自上位机的工艺配方，并根据工艺配方的工艺参数控制各工艺单元的运作，还包括：配方编辑管理模块，用于建立和编辑XML格式的配方文件，以及查看来自PLC机组的过程数据文件；配方数据管理模块，用于存储配方文件和来自PLC机组的过程数据文件；配方传输管理模块，用于将配方文件从上位机传输至PLC机组上，并将PLC机组控制工艺的过程数据文件传输到上位机上；配方控制管理模块，用于控制PLC机组执行工艺配方，并接收PLC机组控制工艺的过程数据文件；所述配方控制管理模块包括配方解析单元和配方控制算法单元，其中，配方解析单元用于将配方文件解析成PLC机组能读取和操作的数据，并按照与PLC机组的数据点一一对应的法则，将解析的数据分配到PLC机组的数据点中，完成数据的解析和赋值过程，配方控制算法单元，用于对完成解析和赋值的数据进行算法控制，以控制各工艺单元按照配方文件运作；所述配方控制算法单元对完成解析和赋值的数据进行算法控制的方法为，首先，生成与配方步骤对应的工艺队列的函数F_X(1，2，......M)；其次，在PLC机组中将生成的工艺队列按执行的状态被自动分配在至少4个工艺队列分区中，设当前正在执行的配方步骤的工艺队列的函数为F_X，变量X为配方步骤，被自动分配在正在执行区，即将执行的工艺队列F_X‑1被自动分配在保护区，在即将执行的工艺队列后的所有未被执行的工艺队列被自动分配在待执行缓冲区，已被执行的工艺队列被自动分配在已执行区，其中，位于正在执行区的工艺队列的参数不能被修改，位于保护区的工艺队列的参数根据正在执行的工艺队列的过程数据通过在配方编辑管理模块中重新设置工艺参数被修改；然后，依次执行工艺队列，直至保护区无即将执行的工艺队列。