[发明专利]一种场致电子发射测试装置

摘要

本发明提供一种场致电子发射测试装置，包括真空腔室、真空连接机构、阳极部分和阴极部分；真空腔室为圆筒型，顶部中心设置有法兰，侧壁设置有第一连接口与真空连接机构连接，真空腔室侧壁靠近底部位置有若干观察窗；阳极部分在真空腔室的上部，包括安装在法兰中心的操作杆，位于真空腔室的外侧安装在操作杆上的控制器，固定在操作杆下端的阳极；阴极部分包括绕真空腔室底部中心圆周设置的若干样品台、与样品台一一对应连接的接线柱，接线柱穿过真空腔室底部与外部导线连接，样品台包括固定支座和样品架，样品台与观察窗对应。本发明为独立测试装置，可与任意真空设备连接，能一次试验条件下测试多个样品，方便更换阳极满足不同样品要求的测试。

主权项

一种场致电子发射测试装置，其特征在于：包括真空腔室、真空连接机构、阳极部分和阴极部分；所述真空腔室为圆筒型，顶部中心设置有法兰，侧壁设置有第一连接口，所述第一连接口与真空连接机构连接，所述真空腔室的侧壁靠近底部位置设置有若干观察窗；所述阳极部分设置在真空腔室的上部，包括操作杆、控制器和阳极，所述操作杆安装在真空腔室顶部法兰中心，所述控制器安装在操作杆上位于真空腔室的外侧，所述阳极连接在操作杆的下端；所述阴极部分包括绕真空腔室底部中心圆周设置的若干样品台、与样品台一一对应连接的接线柱，所述样品台之间设置有绝缘挡板进行分隔，所述接线柱穿过真空腔室底部并与外部导线连接，所述样品台包括固定支座和样品架，所述样品台与真空腔室侧壁的观察窗位置相对应。