[发明专利]恒温水提供方法和恒温水提供装置

摘要

提供恒温水提供方法和恒温水提供装置，能够高效地对加工装置提供规定的温度的水。在实施了利用第1送出泵(4)、第2送出泵(12)将水从第1贮存容器(3)、第2贮存容器(11)送出的送出步骤之后，进入利用第1压力检测构件(5)、第2压力检测构件(13)对从第1、第2贮存容器送出的水的压力进行检测的压力检测步骤，当在压力检测步骤中检测出的压力未达到容许下限值的情况下，进行在使第1、第2送出泵的工作暂时停止之后使第1、第2送出泵再次工作的送出泵重试步骤，所以能够在将混入到送出泵中或流路中的空气去除之后，使第1、第2送出泵再运转。由此，与以往相比，能够高效地对加工装置(20)提供规定的温度的水。

主权项

一种恒温水提供方法，利用恒温水提供装置向加工装置提供规定的温度的水，该恒温水提供装置具有：贮存容器，其对从水提供源提供的水进行贮存；送出泵，其将水从该贮存容器向该加工装置送出；压力检测构件，其对从该贮存容器送出的水的压力进行检测；以及温度调整构件，其配设在从该贮存容器到该加工装置的流路上的比该送出泵靠下游的位置，将水调整成规定的温度，其中，该恒温水提供方法具有如下的步骤：水提供步骤，从该水提供源将水提供给该贮存容器；送出步骤，在实施了该水提供步骤之后，利用该送出泵将水从该贮存容器送出；以及温度调整步骤，对通过该送出步骤送出的水在到达该加工装置之前利用该温度调整构件调整成该规定的温度，该恒温水提供方法还具有如下的步骤：压力检测步骤，利用该压力检测构件对通过该送出步骤从该贮存容器送出的水的压力进行检测；以及送出泵重试步骤，当通过该压力检测步骤检测出的压力未达到规定的值的情况下，在使该送出泵的工作暂时停止之后再次使该送出泵工作，利用该恒温水提供方法将混入到该流路中的气体从该流路去除。