[发明专利]减小朝向高频RF产生器反射的功率的系统和方法有效
| 申请号： | 201710123578.X | 申请日： | 2017-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN107154334B | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 亚瑟·M·霍瓦尔德;约翰·C·小瓦尔考;安德鲁·方;大卫·霍普金 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及减小朝向高频RF产生器反射的功率的系统和方法。具体描述了用于在低频射频(RF)产生器的周期期间减少向高频RF产生器的反射并且用于使用减小反射功率的关系的系统和方法。通过在低频RF产生器的周期期间调谐高频RF产生器，实现对高频RF发生器的精确控制，以减小朝向高频RF产生器反射的功率。此外，通过使用减小反射功率的关系，在晶片处理期间节省时间。 | ||
| 搜索关键词： | 减小 朝向 高频 rf 产生器 反射 功率 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在低频射频(RF)产生器的周期期间减少反射功率的方法，其包括：在第一RF产生器的第一RF周期期间，当第二RF产生器以第一多个参数值操作并且阻抗匹配网络具有第一可变可测量因子时，接收在所述第二RF产生器的输出端与所述阻抗匹配网络的输入端之间感测到的第一多个测得的输入参数值；针对所述第一RF周期，将一个或多个模型初始化为具有所述第一可变可测量因子和所述第一多个参数值，其中所述一个或多个模型包括所述阻抗匹配网络的模型；当所述一个或多个模型具有所述第一可变可测量因子和所述第一多个参数值时，根据所述第一多个测得的输入参数值使用所述一个或多个模型，针对所述第一RF周期，计算第一多个输出参数值；使用所述第一多个输出参数值和所述一个或多个模型来计算第一多个有利的参数值，其中对于所述第一多个有利的参数值中的每一个，在所述一个或多个模型的输入端处的用于所述第一RF周期的反射系数是最小的；在所述第一RF产生器的第二RF周期期间控制所述第二RF产生器以在所述第一多个有利的参数值下操作。
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