[发明专利]P型PERC太阳能电池的制备方法、电池、组件和系统在审
申请号: | 201710124821.X | 申请日: | 2017-03-03 |
公开(公告)号: | CN107068790A | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | 何达能;方结彬;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/048 | 分类号: | H01L31/048;H01L31/18 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人: | 胡枫 |
地址: | 528100 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种P型PERC太阳能电池的制备方法,包括以下步骤(1)在硅片正面形成绒面;(2)在硅片正面进行扩散,形成N型发射极;(3)去除磷硅玻璃和周边PN结;(4)在硅片背面沉积氧化铝膜;(5)采用PECVD双面沉积设备,在硅片的正面和背面同时沉积氮化硅膜;(6)对硅片背面进行激光开槽;(7)在硅片背面印刷背面电极浆料,烘干;(8)在硅片背面印刷铝浆,烘干;(9)在硅片正面印刷正面电极浆料;(10)对硅片进行高温烧结,形成背面电极、全铝背电场和正面电极;(11)对硅片进行抗LID退火,制得P型PERC太阳能电池。本发明还公开了一种P型PERC太阳能电池、组件和系统。采用本发明,可提高生产效率,减少硅片的划伤。 | ||
搜索关键词: | perc 太阳能电池 制备 方法 电池 组件 系统 | ||
【主权项】:
一种P型PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在硅片正面形成绒面,所述硅片为P型硅;(2)在硅片正面进行扩散,形成N型发射极;(3)去除扩散过程形成的磷硅玻璃和周边PN结;(4)在硅片背面沉积氧化铝膜;(5)采用PECVD双面沉积设备,在硅片的正面和背面同时沉积氮化硅膜;(6)对硅片背面进行激光开槽;(7)在硅片背面印刷背面电极浆料,烘干;(8)在硅片背面印刷铝浆,烘干;(9)在硅片正面印刷正面电极浆料;(10)对硅片进行高温烧结,形成背面电极、全铝背电场和正面电极;(11)对硅片进行抗LID退火,制得P型PERC太阳能电池。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的