[发明专利]一种两相复合纳米涂层在审
| 申请号： | 201710125513.9 | 申请日： | 2017-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN107227440A | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 刘和勇 | 申请（专利权）人： | 安徽智联投资集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙)44394 | 代理人： | 胡慧 |
| 地址： | 241300 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种两相复合纳米涂层，所述两相分别为金属相和陶瓷相，陶瓷相为纳米结构，金属相包围在陶瓷相纳米周围，形成网络结构。其中陶瓷相为纳米TiC或TiN；所述金属相为Ti、Cu、或Ni。本发明还公开了制备上述两相复合纳米涂层的方法,采用多靶位、靶材基座能旋转选择工作靶材的溅射设备；在溅射设备中采用脉冲交替溅射纯金属靶及合金靶，形成所述金属相和陶瓷相复合形成的两相纳米涂层。本发明提供的两相复合纳米涂层，其金属相为软相，包围硬相陶瓷相纳米结构形成网络的微观结构的设计使得本涂层综合涂层致密、具有良好的韧性和硬度的优点，从而达到高硬度、高韧性、高耐磨的涂层优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 两相 复合 纳米 涂层 | ||
【主权项】：
一种两相复合纳米涂层，其特征在于：所述两相分别为金属相和陶瓷相，陶瓷相为纳米结构，金属相包围在陶瓷相纳米周围，形成网络结构。
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