[发明专利]一种光学元件表面疵病的检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种光学元件表面疵病的检测装置，包括底座，具有光源；纵向导轨，设置于底座上；显微镜，设置于纵向导轨上，并且显微镜的上方设置有CCD图像传感器；载物台，包括具有光阑的载物台一和载物台二，载物台一和载物台二均设置于纵向导轨上，并依次位于显微镜的下方；载物台一与载物台二之间具有在X/Y/Z方向上可调整的相对位移；此外，载物台一的底部具有CMOS图像传感器，CMOS图像传感器和CCD图像传感器与外部的图像处理器连接，促使图像处理器利用图像处理技术处理和/或观察CCD图像传感器和CMOS图像传感器所采集的图像。有益效果：本发明能够实现小直径大曲率半径表面疵病的快速检测。

主权项

1.一种光学元件表面疵病的检测装置，其特征在于，包括：底座，具有光源；纵向导轨，设置于所述底座上；显微镜，设置于所述纵向导轨上，并且所述显微镜的上方设置有CCD图像传感器；载物台，包括具有光阑的载物台一和载物台二，所述载物台一和所述载物台二均设置于所述纵向导轨上，并依次位于所述显微镜的下方；所述载物台一与所述载物台二之间可在X/Y/Z方向上发生相对位移，并且，所述载物台一与所述载物台二在发生相对位移的情况下，所述载物台一与所述载物台二的光阑与所述光源、所述CCD图像传感器和所述显微镜位于同轴光路上；此外，所述载物台一的底部具有CMOS图像传感器，所述CMOS图像传感器和所述CCD图像传感器与外部的图像处理器连接，所述图像处理器利用图像处理技术处理和/或观察所述CCD图像传感器和CMOS图像传感器所采集的图像。