[发明专利]蒸镀装置

摘要

本发明涉及一种用于制备有机发光显示器件的蒸镀装置，包括：蒸镀腔室；设置于所述蒸镀腔室内的蒸镀源，用于对所述待蒸镀基板的表面蒸镀；正对于所述蒸镀源设置的磁性固定板，所述磁性固定板具有呈凸形面的第一表面；能够磁性吸附于所述磁性固定板的第一表面的掩膜板，用以配合所述磁性固定板，使待蒸镀基板夹持于所述掩膜板与所述磁性固定板之间。上述蒸镀装置的磁性固定板能够具有呈凸面结构的第一表面能够牢固的将上述掩膜板吸附在其表面，进而使柔性材料基板夹持在该磁性固定板与掩膜板之间，上述第一表面呈凸面结构，防止上述掩膜板的接近中央的位置因自身重力而发生下垂的发生。

主权项

1.一种用于制备有机发光显示器件的蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀腔室；设置于所述蒸镀腔室内的蒸镀源，用于对待蒸镀基板的表面蒸镀；正对于所述蒸镀源设置的磁性固定板，所述磁性固定板具有呈凸形面的第一表面；能够磁性吸附于所述磁性固定板的掩膜板，用以配合所述磁性固定板，使待蒸镀基板夹持于所述掩膜板与所述磁性固定板之间；所述待蒸镀基板夹持并贴附在所述第一表面上；所述磁性固定板的第一表面的磁性由中心位置向边缘位置减小。