[发明专利]一种在钒合金基底上制备Er2O3涂层的方法

摘要

本发明属于涂层制备技术领域，涉及一种在钒合金基底上制备Er₂O₃涂层的方法。首先将Er(NO₃)₃·5H₂O溶于无水乙醇中，并加入一定体积的火棉胶，经磁力搅拌后制成溶胶。通过旋涂法将溶胶均匀的涂覆在钒合金表面。然后在真空干燥箱中干燥，随后炉冷。最后在管式炉中热处理获得Er₂O₃涂层。本发明选择溶胶‑凝胶法结合旋涂法在钒合金基底上制备Er₂O₃涂层，制备的涂层均匀，无裂纹，厚度可控且具有操作简便快捷，成本低廉，反应温度低以及涂层成分单一等明显的优势,能够实现对Er₂O₃涂层厚度的控制。

主权项

1.一种在钒合金基底上制备Er2O3涂层的方法，其特征在于具体步骤如下：1)、钒合金基底的预处理将一定厚度的钒合金板利用线切割的方式切割成所需大小，再分别用600‑5000目砂纸打磨，并抛光成镜面，用无水乙醇洗净，然后吹干；2)、溶胶配制称取一定质量的Er(NO3)3·5H2O溶于无水乙醇中并加入体积分数为3‑5％的火棉胶，利用电磁搅拌制成浓度为0.4M‑0.6M的溶胶，然后将溶胶密封保存；3)、在钒合金基底上制备Er2O3涂层将处理好的钒合金固定在旋涂机上，利用滴管滴加适量的溶胶于钒合金片上，先以低速旋涂，再以高速旋涂；将旋涂好的试样放置于真空干燥箱内，分2步加热真空干燥，然后炉冷；利用高温管式炉将干燥后的试样进行热处理，采用炉内冷却；4)、重复步骤3)以达到需要的涂层厚度；步骤3)所述低速旋涂旋速为600‑1000rpm，旋涂时间5‑9s；高速旋涂旋速4000‑6000rpm，旋涂时间20s‑40s。