[发明专利]承载盘组件及具有该承载盘组件的机械手臂

摘要

一种承载盘组件及具有该承载盘组件的机械手臂，该承载盘组件具有一承载盘及多个垫片。承载盘具有一第一端、一第二端及位于该两端之间的一承载面，承载面形成有多个容置槽，各容置槽上窄下宽。垫片分别容置于容置槽内，并具有一环斜面及一顶面。环斜面贴合于容置槽的侧壁面。顶面与承载面齐平且与承载面连接。该机械手臂具有前述承载盘组件及一操作本体。因此本发明的垫片可提供晶圆防滑的效果。由于承载面形成有排气孔及第一通孔，且垫片形成有第二通孔，因此能平衡晶圆上下表面的压力。由于垫片的顶面与承载面齐平，且垫片的顶面的周缘与容置槽的开口的周缘连接，因此垫片填满了整个容置槽，能使垫片稳固地容置在容置槽内而不易向上变形凸出。

主权项

一种承载盘组件，其特征在于，具有：一承载盘，其具有：一第一端；一第二端；及一承载面，其位于该第一端及该第二端间，并形成有多个容置槽；以及多个垫片，其分别容置于所述容置槽内，且各该垫片具有：一环斜面，其贴合于相对应的该容置槽的侧壁面；及一顶面，其与该承载面齐平，该顶面形成有多个凸块及多个沟槽，所述凸块凸出于该承载面，而所述沟槽位于所述凸块间。