[发明专利]基板清洗装置

摘要

本发明的目的在于提供一种在将多个不同种类的清洗液向刷子供给的情况下、也能够进行良好的清洗处理的基板清洗装置。实施方式的基板清洗装置具备基板保持部、刷子、臂、喷出部以及引导构件。基板保持部将基板保持成可旋转。刷子具有：主体部；清洗体，其设置于主体部的下部，能够被按压于基板；空心部，其形成于主体部，上下两端开口。臂借助主轴将刷子的主体部支承成可旋转。喷出部设置于臂，可对多个种类的处理液进行切换而喷出。引导构件配置于喷出部与刷子之间，暂且接收从喷出部喷出来的处理液并向刷子的空心部引导。

主权项

一种基板清洗装置，其特征在于，该基板清洗装置具备：基板保持部，其将基板保持成能够旋转；刷子，其具有：主体部；清洗体，其设置于所述主体部的下部，能够被按压于所述基板；空心部，其形成于所述主体部，上下两端开口；臂，其借助主轴将所述刷子的主体部支承成能够旋转；喷出部，其设置于所述臂，与多个种类的处理液供给源连接；引导构件，其配置于所述喷出部与所述刷子之间，对从所述喷出部喷出来的所述处理液暂且进行接收并向所述刷子的空心部引导。