[发明专利]一种光学相干层析变形场降噪方法

摘要

本发明公开了一种光学相干层析变形场降噪方法，在相位对照谱域光学相干层析技术的基础上结合了模糊逻辑的方法，通过对测量结果提取特征参数，并进行模糊推理和判断，对样件的截面轮廓以及样件内部的变形场进行降噪，使截面轮廓更加清晰，变形场分布更加细致。计算干涉光谱的原始幅值A_m(y,z)和原始相位差Δφ_m(y,z)；根据干涉光谱的原始幅值A_m(y,z)和原始相位差Δφ_m(y,z)计算特征参数C₁、C₂、C₃和C₄；对特征参数C₁、C₂、C₃和C₄进行模糊化处理得到模糊化特征参数C_n1、C_n2、C_n3和C_n4；对模糊化特征参数进行判断，输出O₁和O₂；计算降噪后的输出幅值A_e(y,z)和输出相位差Δφ_e(y,z)；根据输出幅值A_e(y,z)和输出相位差Δφ_e(y,z)解调出降噪后的变形场。

主权项

1.一种光学相干层析变形场降噪方法，其特征在于，包括：计算干涉光谱的原始幅值A_m(y,z)和原始相位差Δφ_m(y,z)；根据所述干涉光谱的原始幅值A_m(y,z)和原始相位差Δφ_m(y,z)计算特征参数C₁、C₂、C₃和C₄，其中C₁为附近区域的幅值之和、C₂为单一方向的幅值之和、C₃为相邻区域内相位差的连续程度、C₄为相邻区域内相位差拟合的误差；对所述特征参数C₁、C₂、C₃和C₄进行模糊化处理得到模糊化特征参数C_n1、C_n2、C_n3和C_n4；对所述模糊化特征参数进行判断，输出O₁和O₂，其中O₁为该点是样件内部一点的可能性，O₂为该点是噪声点的可能性；计算降噪后的输出幅值A_e(y,z)和输出相位差Δφ_e(y,z)；根据所述输出幅值A_e(y,z)和输出相位差Δφ_e(y,z)解调出降噪后的变形场。