[发明专利]光偏转器的制造方法

摘要

本发明提供光偏转器的制造方法，光偏转器具备固定部以及可动部，可动部具备绕规定的摇动轴摇动从而使光偏转的镜部、被固定支承于固定部具有作为摇动轴的轴线的扭杆以及支承镜部且被固定于扭杆的支承体，支承体具备轴线经过的孔部，在孔部中配置有用于调整可动部的谐振频率的质量体，质量体是使可粘着的流体固化的构件，光偏转器的制造方法包含如下步骤第1步骤，将驱动信号输入到没有在所述孔部中配置所述质量体的状态的所述光偏转器，使所述镜部摇动；第2步骤，在执行所述第1步骤的过程中，将流体状态的所述质量体提供给所述孔部；第3步骤，在执行所述第2步骤的过程中，当所述可动部的谐振频率到达预先规定的值时，停止所述质量体的提供。

主权项

一种光偏转器的制造方法，其中，所述的光偏转器具备固定部以及可动部，所述可动部具备绕规定的摇动轴摇动从而使光偏转的镜部、被固定支承于所述固定部具有作为所述摇动轴的轴线的扭杆以及支承所述镜部且被固定于所述扭杆的支承体，其中，所述支承体具备所述轴线经过的孔部，在所述孔部中配置有用于调整所述可动部的谐振频率的质量体，所述质量体是使可粘着的流体固化的构件，所述光偏转器的制造方法的特征在于，其包含如下步骤：第1步骤，将驱动信号输入到没有在所述孔部中配置所述质量体的状态的所述光偏转器，使所述镜部摇动；第2步骤，在执行所述第1步骤的过程中，将流体状态的所述质量体提供给所述孔部；以及第3步骤，在执行所述第2步骤的过程中，当所述可动部的谐振频率到达预先规定的值时，停止所述质量体的提供。