[发明专利]激光直接成像曝光机用移动聚焦结构及聚焦方法在审
| 申请号： | 201710131483.2 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN106909029A | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 李显杰 | 申请（专利权）人： | 无锡影速半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区太湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光直接成像曝光机用移动聚焦结构及聚焦方法，其包括曝光成像平台以及位于所述曝光成像平台正上方的曝光光路；还包括用于驱动曝光成像平台竖直升降的平台升降机构，所述平台升降机构驱动曝光成像平台竖直升降时，能使得置于曝光成像平台上PCB板的上表面位于曝光光路的成像焦面上。本发明通过平台升降机构实现曝光成像平台的整体升降，从而使得曝光成像平台上PCB板的上表面位于曝光光路的成像焦面上，与现有的聚焦相比，简化了曝光光路的光路结构，提高了光路运动时的稳定性，同时也简化了曝光光路的机械结构，降低了机械安装的难度，简化了曝光成像镜筒的聚焦步骤，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 直接 成像 曝光 移动 聚焦 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种激光直接成像曝光机用移动聚焦结构，包括曝光成像平台（3）以及位于所述曝光成像平台（3）正上方的曝光光路（1）；其特征是：还包括用于驱动曝光成像平台（3）竖直升降的平台升降机构（4），所述平台升降机构（4）驱动曝光成像平台（3）竖直升降时，能使得置于曝光成像平台（3）上PCB板（2）的上表面位于曝光光路（1）的成像焦面上。
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