[发明专利]包括晶体管单元和补偿结构的宽带隙半导体器件有效
申请号: | 201710131889.0 | 申请日: | 2017-03-07 |
公开(公告)号: | CN107180872B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | R·西明耶科;D·彼得斯 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/16 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 郑立柱 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了包括晶体管单元和补偿结构的宽带隙半导体器件。一种半导体器件(500)包括在得自碳化硅的半导体部分(100)中的晶体管单元(TC),其中晶体管单元(TC)电连接到栅极金属化部(330)、源电极(310)和漏电极(320)。半导体器件(500)还包括在半导体部分(100)中的掺杂区域(180)。掺杂区域(180)电连接到源电极(310)。掺杂区域(180)的电阻具有负的温度系数。层间电介质(210)将栅极金属化部(330)与掺杂区域(180)分离。半导体部分(100)中的漏极结构(120)将晶体管单元(TC)与漏电极(320)电连接,并且与掺杂区域(180)形成pn结(pnx)。 | ||
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【主权项】:
一种半导体器件,包括:晶体管单元(TC),其形成在得自宽带隙材料的半导体部分(100)中并且电连接到栅极端子(G)、源极端子(S)和漏极端子(D);以及补偿结构(450),其与所述源极端子(S)和所述漏极端子(D)中的至少一个以及所述栅极端子(G)电连接,其中所述补偿结构(450)的有效电容具有至少部分地对所述晶体管单元(TC)的栅漏电容与栅源电容之间的比率的温度系数进行补偿的温度系数。
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