[发明专利]光致抗蚀剂脱除组合物及利用其的电子元件的制造方法有效
| 申请号： | 201710133367.4 | 申请日： | 2017-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN107229191B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 朱翊祯;黄宜琤;陈颐承 | 申请（专利权）人： | 达兴材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 孙梵 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种光致抗蚀剂脱除组合物，包括一有机溶剂，其结构如以下式I所示： |
||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 脱除 组合 利用 电子元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂脱除组合物，包括：有机溶剂，其结构如以下式I所示：其中，R1为烷氧基或烷基，R2、R3、R4、R5、R6为各自独立的氢或氢氧基，且n大于0；胺化合物，其含量为10‑65重量百分比；以及水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于达兴材料股份有限公司，未经达兴材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710133367.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
