[发明专利]不良检测方法

摘要

提供不良检测方法，能够适当地判定出添加剂的注入不良。一种不良检测方法，对加工液提供装置(40)中的添加剂的注入不良进行检测，该不良检测方法包含如下的步骤：浓度设定步骤，对加工液中的添加剂的浓度进行设定；添加量计算步骤，根据通过浓度设定步骤设定的添加剂的浓度和由流量计(44)测量出的液体的流量对添加剂的添加量进行计算；移送泵工作判别步骤，当按照通过添加量计算步骤计算出的添加量向液体添加添加剂时，对移送泵(64a，64b)的工作时间是否适当进行判别；以及判定步骤，当通过移送泵工作判别步骤判别为移送泵的工作时间不适当的情况下，判定为添加剂的注入不良。

主权项

一种不良检测方法，在加工液提供装置中对添加剂的注入不良进行检测，该加工液提供装置具有：流量计，其一端与液体提供源连接，另一端配设在与加工装置连接的流路上，该流量计对该流路中流动的液体的流量进行测量；添加剂容器，其收纳向该液体中添加的添加剂；贮存容器，其对从该添加剂容器提供的添加剂进行贮存；移送泵，其将该添加剂从该添加剂容器移送至该贮存容器，以便成为在该贮存容器中总是贮存有规定的量的该添加剂的状态；注入泵，其将该贮存容器的该添加剂注入到该流路的比该流量计靠下游侧的位置；以及测量器，其对将该添加剂注入到该液体中而生成的加工液的导电率或电阻率进行测量，该不良检测方法的特征在于，具有如下的步骤：浓度设定步骤，对该加工液中的该添加剂的浓度进行设定；添加量计算步骤，根据通过该浓度设定步骤设定的该添加剂的浓度和由该流量计测量出的该液体的流量对该添加剂的添加量进行计算；移送泵工作判别步骤，当按照通过该添加量计算步骤计算出的添加量向该液体添加该添加剂时，对移送泵的工作时间是否适当进行判别；以及判定步骤，当通过该移送泵工作判别步骤判别为该移送泵的工作时间不适当的情况下，判定为该添加剂的注入不良。