[发明专利]一种飞秒激光加工中透明薄膜折射率改变量的获取方法

摘要

本发明公开了一种飞秒激光加工中透明薄膜折射率改变量的获取方法，利用激光平面加工装置，采用间隔为300nm的逐线扫描方法在薄膜上获得64个与激光功率和平台扫描速度相关的80μm×80μm大小的折射率发生改变的区域，通过带有显微系统和三维移动平台的傅里叶红外光谱仪测得该64个区域的透射谱，采用改进的Swanepoel方法从透射谱中计算得到薄膜的折射率，进而得到激光加工区域的薄膜折射率改变量。

主权项

1.一种飞秒激光加工中透明薄膜折射率改变量的获取方法，所述的飞秒激光平面加工装置包括沿主光路顺序排列的用于发出加工光束的飞秒激光器、激光功率调谐机构、快门、第一偏振分光棱镜、全反镜、激光光束直径调整系统、第二偏振分光棱镜、物镜和用于放置样品薄膜的三维移动平台，所述的三维移动平台背面设置有对样品薄膜进行背景照明的LED光源，所述的第二偏振分光棱镜的分光路上设置有成像CCD，所述的第一偏振分光棱镜的分光路上设置有聚焦透镜和光电倍增管，所述的光电倍增管与放置在所述的三维移动平台上的样品薄膜表面处在共聚焦位置，所述的激光器、所述的三维移动平台、所述的快门、所述的激光功率调谐机构和所述的光电倍增管分别与控制计算机连接，其特征在于在样品薄膜上选取一块1000μm×1000μm区域，在该区域按8行8列选择64个均匀分布的80μm×80μm的区域作为激光诱导区域，利用飞秒激光逐线扫描全部所述的激光诱导区域，通过测试得到的每个激光诱导区域的透射谱，利用薄膜的透射光谱曲线与其切点包络线相切位置处对应的波长及切点包络数据计算薄膜折射率的方法从透射谱中计算得到激光诱导区域的折射率，将其与激光加工前的薄膜折射率进行比较得到薄膜折射率的改变量。