[发明专利]导模法蓝宝石长晶系统有效
| 申请号： | 201710136257.3 | 申请日： | 2017-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN108570707B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 张岩;马鹏翔;赵子强;邢星;李晋;陈菲菲;谷元中;梁浩;邓晓妍 | 申请（专利权）人： | 中科钢研节能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/34 | 分类号： | C30B15/34;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 严政;刘依云 |
| 地址： | 100081 北京市海淀区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及蓝宝石长晶领域，公开了一种导模法蓝宝石长晶系统，包括蓝宝石长晶炉(1)、称重传感器(2)和自动控温装置(3)，所述蓝宝石长晶炉的内部设置有模具(4)、坩埚(5)、加热部件(6)和籽晶杆(7)，模具设置在坩埚内，加热部件设置在坩埚的外周，模具具有从上到下贯穿的10个以上的狭缝(8)，模具的高度h为93‑97mm，每条狭缝的宽度d为0.6‑0.9mm，每条狭缝的长度l为85‑95mm；所述籽晶杆设置在所述坩埚的上方，籽晶杆与称重传感器相连，自动控温装置被设置为用于接收称重传感器的称重信号，并根据接收的称重信号反馈控制加热部件的加热功率。该系统能同时得到多于10个质量好的晶片。 | ||
| 搜索关键词： | 导模法 蓝宝石 晶系 | ||
【主权项】：
1.一种导模法蓝宝石长晶系统，其特征在于，所述导模法蓝宝石长晶系统包括蓝宝石长晶炉(1)、称重传感器(2)和自动控温装置(3)，所述蓝宝石长晶炉(1)的内部设置有模具(4)、坩埚(5)、加热部件(6)和籽晶杆(7)，所述模具(4)设置在坩埚(5)内部，所述加热部件(6)设置在所述坩埚(5)的外周，所述模具(4)具有从上到下贯穿的10条以上的狭缝(8)，所述模具(4)的高度h为93‑97mm，每条狭缝(8)的宽度d为0.6‑0.9mm，每条狭缝(8)的长度l为85‑95mm；所述籽晶杆(7)设置在所述坩埚(5)的上方，所述籽晶杆(7)与所述称重传感器(2)相连，所述自动控温装置(3)被设置为用于接收所述称重传感器(2)的称重信号，并根据接收的称重信号反馈控制加热部件(6)的加热功率。
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