[发明专利]基于原位制备目标基底的转移石墨烯的方法

摘要

本发明涉及一种基于原位制备目标基底的转移石墨烯的方法，包括以下步骤：S101：在固相载体上沉积的石墨烯表面涂覆和/或沉积目标基底；其中，目标基底的原料组分中至少有一种呈非固相状态；S102：对S101得到的产物进行处理或其自发相变，以使目标基底中呈非固相状态的原料组分转化为固相；S103：分离除去S102产物中的固相载体，实现石墨烯的转移。采用本发明提供的方法可以高质量地将大面积石墨烯转移到不同的目标基底上；转移过程中，目标基底实现由非固相状态到固相的相转变过程，从而始终保持目标基底与石墨烯的完美贴合，进而在后续去除固相载体时将石墨烯的缺陷最小化。

主权项

1.一种基于原位制备目标基底的转移石墨烯的方法，其特征在于，包括以下步骤：S101：在固相载体上沉积的石墨烯表面涂覆和/或沉积目标基底；其中，所述目标基底的原料组分至少包括两种气体，且所述气体之间能够通过化学反应从气态转变为固态；所述气体包括第一气体和第二气体；S102：对所述S101得到的产物进行处理或其自发相变，以使所述目标基底中的第一气体和第二气体通过化学反应从气态转变为固态；S103：分离除去所述S102产物中的固相载体，实现石墨烯的转移；其中，所述第一气体为四‑二甲基氨基铪，所述第二气体为水蒸气；第一气体和第二气体发生化学反应的条件为：温度为130℃，气压为400mTorr，40个循环的氧化铪通过0.025μs的H2O脉冲，70μs的延迟，然后0.3μs的脉冲的沉积前体四‑二甲基氨基铪形成氧化铪。