[发明专利]可用于晶化和剥离的两用准分子激光系统

摘要

本发明公开了一种可用于晶化和剥离的两用准分子激光系统，包括准分子激光器、衰减模块、光斑转换模块、导光臂、场镜、投影镜头、控制模块。本发明可用于晶化和剥离的，能在一套设备上实现晶化和剥离两种功能，可应用于显示研究和生产行业，特别是柔性有机发光二极管显示行业，并能大大降低晶化和剥离的生产费用。

主权项

可用于晶化和剥离的两用准分子激光系统，其特征在于：包括：准分子激光器，其输出的光束为矩形，光束的光斑短轴平行于水平面、长轴垂直于水平面；衰减模块，所述准分子激光器输出的光束入射至衰减模块，衰减模块对准分子激光器输出的光束能量进行调节；光斑转换模块，经衰减模块调节后的光束入射至光斑转换模块，光斑转换模块将光束调节为光束的光斑长轴平行于水平面、短轴垂直于水平面；导光臂，其由扩束准直模块、长轴匀光模块、短轴匀光模块、反射模块构成，经光斑转换模块调节后的光束依次经过扩束准直模块扩束准直、长轴匀光模块对光束的光斑长轴匀光、短轴匀光模块对光束的短轴匀光后，再经反射模块反射改变传播方向后出射；场镜和投影镜头，导光臂出射的光束入射至场镜，经场镜滤去边缘光后形成匀化光斑，匀化光斑由投影镜头投影于工件表面；控制模块，其与准分子激光器控制连接，以控制准分子激光器工作。