[发明专利]承载装置及离子注入设备有效
| 申请号： | 201710137906.1 | 申请日： | 2017-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN106876233B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 刘晨亮;蒋冬华;傅永义;谭超;王学伟;李儒健;罗康;令勇洲;谢银;杨剑波;李飞 | 申请（专利权）人： | 成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种承载装置及离子注入设备，所述承载装置包括：用于承托基板的承托台；以及，用于支撑基板的多个支撑部件，各支撑部件以可移动地方式设置在所述承托台上，以使各支撑部件在基板上的支撑位置可调节。本发明提供的承载装置及离子注入设备，能够减少由于支撑部件与基板接触所引起的亮暗点、白Mura等不良产生。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 装置 离子 注入 设备 | ||
【主权项】：
1.一种承载装置，其特征在于，包括：用于承托基板的承托台；以及，用于支撑基板的多个支撑部件，各支撑部件以可移动地方式设置在所述承托台上，以使各支撑部件在基板上的支撑位置可调节；在所述承托台上设置有导轨，所述承托台包括多个承托部，在每一所述承托部的侧边设置有所述导轨；在所述导轨上设置有能够沿所述导轨移动的多个滑动块，在每一所述滑动块上连接有至少一个所述支撑部件。
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