[发明专利]对PN结进行自动测量的电容电压特性测试仪及其测试方法

摘要

本发明公开了一种对PN结进行自动测量的电容电压特性测试仪及其测试方法，该测试仪可自动调控二极管反向电压，同时测量结间电容的自动电容电压(C‑V)特性。待测二极管置于测试样品台上，二极管两端电极与测试样品台上的电极紧密接触，此时由主控制器控制可编程稳压电源输送正向或反向电压至二极管，并由高频电容测试仪测量当前偏压下的结电容，在主控制器的控制下，所加电压的数值不断变化，电容量也随之改变，主控制器保存对应偏压下的二极管电容值，并对从起始电压到终极电压之间的大量C‑V数据组绘制相应的C‑V曲线。本发明可以改变传统人工调节偏置电压，手工记录并绘制C‑V曲线的繁琐操作，具有效率高、精度高的优点。

主权项

对PN结进行自动测量的电容电压特性测试仪，其特征在于，包括测试样品台、可编程稳压电源、高频电容测试仪、数字表、单片机控制系统以及主控制器，测试样品台上设有用于贴紧待测二极管两端的电极，可编程稳压电源在待测二极管两端加步进的偏压，高频电容测试仪与待测二极管两端相连以测量当前偏压下的电容量和漏电流；数字表包括电容量数字表、偏压值数字表和漏电流值数字表，三者的输出端均与单片机控制系统的输入端相连，漏电流值数字表的输入端、电容量数字表的输入端均与高频电容测试仪的输出端相连，偏压值数字表的输入端与可编程稳压电源相连；单片机控制系统、可编程稳压电源分别与主控制器相连，主控制器上设有人机交互装置。