[发明专利]MEMS声换能器及其制造方法在审
| 申请号： | 201710138893.X | 申请日： | 2017-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN106911990A | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 詹竣凱;蔡孟錦 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS声换能器及其制造方法，在由所述第一可动梳齿与第一固定梳齿构成，以及由第二可动梳齿与第二固定梳齿构成的两组梳齿结构中，其中一组梳齿结构的可动梳齿高于固定梳齿，另一组梳齿结构中的可动梳齿低于固定梳齿；本发明的MEMS声换能器，振膜组件本身可以输出高频的音频讯号，梳齿结构可以作为换能器的低频结构，且二者的驱动接口可以独立规划，并整合于一单体中可同时输出高低频讯号，从而提供准确的声音讯号。另外，本发明的声换能器，振膜组件在接受音频信号输出声音的同时，还可以形成麦克风结构从而为声音源的修正提供外界的噪音信号参数，提高了声换能器的抗噪能力。 | ||
| 搜索关键词： | mems 声换能器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS声换能器,其特征在于：包括衬底(1)以及振膜组件，所述振膜组件通过弹性梁(4)与衬底(1)连接在一起；其中，在所述振膜组件相对的两侧分别设置有至少一组第一可动梳齿(5)，在所述振膜组件另外相对的两侧分别设置有至少一组第二可动梳齿(7)；所述衬底(1)上设置有用于与第一可动梳齿(5)配合在一起的第一固定梳齿(6)，以及用于与第二可动梳齿(7)配合在一起的第二固定梳齿(8)；其中，在由所述第一可动梳齿(5)与第一固定梳齿(6)构成，以及由第二可动梳齿(7)与第二固定梳齿(8)构成的两组梳齿结构中，其中一组梳齿结构的可动梳齿高于固定梳齿，另一组梳齿结构中的可动梳齿低于固定梳齿；所述振膜组件被配置为提供声换能器的振动状态；所述两组梳齿结构被配置为：在各自的静电力作用下分别为振膜组件整体在两个相反方向上的位移提供驱动力。
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